MEMS（微型机电系统）麦克风是基于MEMS技术制造的麦克风，简单的说就是一个电容器集成在微硅晶片上，可以采用表贴工艺进行制造，能够承受很高的回流焊温度，容易与CMOS工艺及其它音频电路相集成，并具有改进的噪声消除性能与良好的RF及EMI抑制能。
MEMS麦克风的全部潜能还有待挖掘，但是采用这种技术的产品已经在多种应用中体现出了诸多优势，特别是中高端手机应用中，技术正在朝着带有集成式麦克风并能记录立体声的单芯片摄像电话方向发展 。该技术也在AI录音笔等设备中得到应用 ，例如部分AI录音笔设备搭载了指向性MEMS麦克风，其拾音距离可达10米 。此外，在游戏耳机领域也有应用，例如部分游戏耳机搭载了吊杆式MEMS麦克风，其频率响应范围可达20Hz~220kHz 。该技术亦应用于直播摄像头等设备，部分设备内置了全向MEMS麦克风 。
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